HONDA本多電子  石英振動式超聲波清洗機 W-357-1MQG-SKC

特征

以最小的損傷清洗具有精細圖案的晶圓

■在石英振動體上疊加超聲波來清洗半導體晶圓。

通過化學液將超聲波振動從石英振動體傳播到半導體晶圓，從而清洗接觸區域的化學液振動并利用其加速度去除表面的污垢。

■實現對半導體晶片損傷較小的清潔清洗

與化學溶液接觸的部分使用石英，與使用填料等橡膠材料的設備相比，可以實現無橡膠溶出或磨損的清潔清潔。

■配備振動器冷卻功能，通過氣體（氮氣等）冷卻振動器，可穩定連續運行，無頻率波動。

此外，通過冷卻，不會出現突然的溫度變化，從而延長了使用壽命

HONDA本多電子  石英振動式超聲波清洗機  W-357-1MQG-SKC

目的

去除抗蝕劑殘留物

磨邊后、灰化后去除聚合物

柵電極清洗

CMP后清洗

●輸出可變范圍：0W至12W（振動器允許輸入：使用空氣吹掃冷卻振動器時，連續10W）

●使用周圍環境：溫度：15至35℃，濕度：10至85%

●外部驅動器觸點 額定值：超聲波振動控制（控制側） 接點輸入：DC12V 16mA以上

　警報輸出（本裝置） 接點容量：DC24V 0.5A

■附屬電纜：電源線（AC100V/2m或AC200V 2.4m中選擇）、控制線（5m）x4

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